发明名称 MANUFACTURE OF INSULATION GATE TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54142981(A) 申请公布日期 1979.11.07
申请号 JP19780051558 申请日期 1978.04.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 EZAKI TAKEYA
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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