| 发明名称 |
RASTERELEKTRONENMICROSCOOP. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7903411(A) |
申请公布日期 |
1979.11.06 |
| 申请号 |
NL19790003411 |
申请日期 |
1979.05.01 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT TE BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/20;G01R31/302;H01J37/18;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/28;G01R31/26 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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