发明名称 METHOD OF FORMING EPITAXIAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS54141560(A) 申请公布日期 1979.11.02
申请号 JP19790048502 申请日期 1979.04.18
申请人 PHILIPS NV 发明人 PAURUSU ZAKARIASU ANTONIUSU MA
分类号 C30B25/02;H01L21/205;H01L21/22 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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