发明名称
摘要
申请公布号 DE2458450(B2) 申请公布日期 1979.10.31
申请号 DE19742458450 申请日期 1974.12.10
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN 发明人 KELLER, WOLFGANG, DR., 8000 MUENCHEN
分类号 C30B13/20;H01F7/20;H01L21/208;H01L21/50;H05B6/30;H05B6/36;H05B6/42;(IPC1-7):B01J17/10 主分类号 C30B13/20
代理机构 代理人
主权项
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