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发明名称 DEVELOPER
摘要
申请公布号 JPS54140535(A) 申请公布日期 1979.10.31
申请号 JP19780048577 申请日期 1978.04.24
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD 发明人 HARITA YOSHIYUKI;SANO KAZUO;HARADA TOKOU
分类号 G03F7/32;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H05K3/06 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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