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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2916098(A1) 申请公布日期 1979.10.31
申请号 DE19792916098 申请日期 1979.04.20
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 ITO,SATORU
分类号 H01L21/225;H01L21/321;H01L21/339;H01L21/768;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/22;H01L29/66 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
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