トロイダルプラズマ処理装置

摘要

導管、プロセスチャンバ、およびガスを真空チャンバの中に導入するための第１のガス入力ポートと、ガスを真空チャンバから排気するためのポンプポートとを備える、真空チャンバを含む、プラズマ処理装置。磁気コアは、導管を囲繞する。ＲＦ電力供給源出力は、磁気コアに電気的に接続される。ＲＦ電力供給源は、磁気コアを励起し、それによって、トロイダルプラズマループ放電を真空チャンバ内に形成する。プラズマ処理の間、ワークピースを支持する、取付盤は、プロセスチャンバ内に位置付けられる。