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发明名称 GLASS COATING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS54139379(A) 申请公布日期 1979.10.29
申请号 JP19780046489 申请日期 1978.04.21
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SHINPO MASARU;NEGISHI MIKIKO;TANZAWA KATSUJIROU;TAI SHINICHI
分类号 H01L21/316;H01L21/56 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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