发明名称 METHOD OF DETECTING FLAWS OF DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 SU693219(A1) 申请公布日期 1979.10.25
申请号 SU19772529045 申请日期 1977.10.04
申请人 GLUKHOV ALEKSANDR S,SU;KOSOPLETKIN ANATOLIJ R,SU 发明人 GLUKHOV ALEKSANDR S,SU;KOSOPLETKIN ANATOLIJ R,SU
分类号 (IPC1-7):G01N27/56 主分类号 (IPC1-7):G01N27/56
代理机构 代理人
主权项
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