发明名称 FORMATION METHOD OF CONDUCTIVE REGION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54134990(A) 申请公布日期 1979.10.19
申请号 JP19780043458 申请日期 1978.04.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUBOUCHI NATSUO;ABE HARUHIKO;NISHIMOTO AKIRA;MIYOSHI HIROKAZU
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/316 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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