发明名称 MAGNETISCHE ELEKTRONENLINSE FUER EINE RASTEREINRICHTUNG, INSBESONDERE EIN RASTERELEKTRONENMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE2913123(A1) 申请公布日期 1979.10.18
申请号 DE19792913123 申请日期 1979.04.02
申请人 NIHON DENSHI K.K. 发明人 NAKAGAWA,SEIICHI;YONEZAWA,AKIRA;KIKUCHI,MASATSUGU
分类号 G01Q30/02;H01J37/141;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/14 主分类号 G01Q30/02
代理机构 代理人
主权项
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