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发明名称
ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS54133879(A)
申请公布日期
1979.10.17
申请号
JP19780041105
申请日期
1978.04.07
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
ONO HIROSHI
分类号
H01L21/306;H01L21/302
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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