发明名称 PROCESS FOR MAKING PATTERNS IN RESIST AND FOR MAKING ION ABSORPTION MASKS USEFUL THEREWITH
摘要
申请公布号 GB1554420(A) 申请公布日期 1979.10.17
申请号 GB19760043165 申请日期 1976.10.18
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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