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发明名称 SPUTTER ETCHING
摘要
申请公布号 GB1554282(A) 申请公布日期 1979.10.17
申请号 GB19760024078 申请日期 1976.06.10
申请人 PHILIPS ELECTRONIC & ASSOC IND LTD 发明人
分类号 G11C11/14;C23C14/35;H01C17/12;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 G11C11/14
代理机构 代理人
主权项
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