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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS54133090(A)
申请公布日期
1979.10.16
申请号
JP19780041083
申请日期
1978.04.07
申请人
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI
发明人
YOSHIZAWA ROKUROU
分类号
H01L21/3205;H01L21/283;H01L23/52;H01L29/41
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
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