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发明名称 THIN FILM CAPACITOR AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS54133089(A) 申请公布日期 1979.10.16
申请号 JP19780040986 申请日期 1978.04.06
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SATOU SATOHIKO
分类号 H01L27/04;H01L21/822 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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