发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS54133086(A) 申请公布日期 1979.10.16
申请号 JP19780040248 申请日期 1978.04.07
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 ETSUNO YUTAKA;YASUJIMA TAKASHI;YONEZAWA TOSHIO;UCHIDA MASAHITO
分类号 H01L21/314;H01L21/76 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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