| 发明名称 |
SUSCEPTOR FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54132165(A) |
申请公布日期 |
1979.10.13 |
| 申请号 |
JP19780040127 |
申请日期 |
1978.04.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO |
发明人 |
NAKAYAMA CHIAKI;OOKAWA MASAYUKI;KARITA AKIO |
| 分类号 |
H01L21/673;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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