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发明名称 VORRICHTUNG ZUM TRANSPORT VON FLUESSIGKEITEN INNERHALB EINES GEFAESSES
摘要
申请公布号 DE2912327(A1) 申请公布日期 1979.10.11
申请号 DE19792912327 申请日期 1979.03.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 POHL,DIETER;SCHEEL,HANSJOERG
分类号 H01L33/00;B67D5/60;C30B19/00;C30B19/06;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
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