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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54130883(A) 申请公布日期 1979.10.11
申请号 JP19780037463 申请日期 1978.04.01
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 KIMURA MINORU
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/08;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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