| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR BILDUNG EINER KONTAKTZONE ZWISCHEN SCHICHTEN AUS POLYSILIZIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2911132(A1) |
申请公布日期 |
1979.10.11 |
| 申请号 |
DE19792911132 |
申请日期 |
1979.03.21 |
| 申请人 |
INTEL CORP. |
发明人 |
SAMUEL LIU,SHEAU-MING;H. OWEN,WILLIAM;D. PASHLEY,RICHARD |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/306;H01L21/321;H01L21/3215;H01L21/331;H01L21/768;H01L21/822;H01L21/8244;H01L23/522;H01L27/11;H01L29/73;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/90 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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