发明名称 MONITORING POTENTIAL DISTRIBUTION ON A SURFACE
摘要
申请公布号 GB2017940(A) 申请公布日期 1979.10.10
申请号 GB19790011289 申请日期 1979.03.30
申请人 SIEMENS AG 发明人
分类号 G01R31/26;G01R13/00;G01R19/00;G01R29/14;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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