发明名称 FORMATION OF RUTHENIUM COATING LALYER
摘要
申请公布号 JPS54128942(A) 申请公布日期 1979.10.05
申请号 JP19780037515 申请日期 1978.03.31
申请人 SHOEI CHEMICAL IND CO 发明人 ASADA EIICHI;KAWAKADO SHINROKU;YAMAMOTO YASUO;UENO ATSUYUKI
分类号 C23C18/08 主分类号 C23C18/08
代理机构 代理人
主权项
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