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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54128670(A) 申请公布日期 1979.10.05
申请号 JP19780037313 申请日期 1978.03.29
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 FUKUDA KUNIYOSHI;TACHIBANA SEIJI
分类号 H01L21/60;H01L21/288 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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