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发明名称
SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号
JPS54127879(A)
申请公布日期
1979.10.04
申请号
JP19780035703
申请日期
1978.03.28
申请人
MORI ITARU
发明人
MORI ITARU
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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