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发明名称 MECHANICAL ETCHING OF THE EDGES OF SEMICONDUCTOR PLATES
摘要
申请公布号 AU504240(B2) 申请公布日期 1979.10.04
申请号 AU19760018515 申请日期 1976.10.08
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFABRIEKEN, N.V. 发明人 Y. SALLES;P. LEGER;G.A. DAVID
分类号 H01L31/04;C23F1/00;C23F1/08;H01L21/306;H01L31/18;(IPC1-7):01L21/306;01L21/68;01L31/06 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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