BEAM ENERGY VARIABLE ELECTRON BEAM DEVICE,申请号JP19780033162-传众专利搜索

发明名称	BEAM ENERGY VARIABLE ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号	JPS54128287(A)	申请公布日期	1979.10.04
申请号	JP19780033162	申请日期	1978.03.24
申请人	SERUGEI AREKUSANDOROBUICHI RIB	发明人	SERUGEI AREKUSANDOROBUICHI RIB
分类号	H01J37/28;H01L21/30	主分类号	H01J37/28
代理机构		代理人
主权项
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