| 发明名称 |
SELECTIVE ETCHING METHOD OF ALUMINUM FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54126472(A) |
申请公布日期 |
1979.10.01 |
| 申请号 |
JP19780034362 |
申请日期 |
1978.03.25 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
HIRATA YOSHIMI;YAMADA TAKAAKI;KAYANUMA AKIO |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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