| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54126462(A) |
申请公布日期 |
1979.10.01 |
| 申请号 |
JP19780034371 |
申请日期 |
1978.03.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MIHARA KIYOHIKO;KAWAKAMI AKIRA;NAKAGAWA TSUTOMU |
| 分类号 |
H01L29/74;H01L21/22;H01L21/322 |
主分类号 |
H01L29/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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