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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS54125985(A) 申请公布日期 1979.09.29
申请号 JP19780033071 申请日期 1978.03.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 USUDA KOUJI
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/331;H01L29/06;H01L29/73 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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