发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54125982(A) 申请公布日期 1979.09.29
申请号 JP19780033725 申请日期 1978.03.23
申请人 NIPPON ELECTRIC CO;NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 HAMANO KUNIYUKI;IMAI KAZUO;YORIUME YUTAKA
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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