| 发明名称 |
MANUFACURE OF MOS FIELD EFFECT INTEGRATIEDDCIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54124986(A) |
申请公布日期 |
1979.09.28 |
| 申请号 |
JP19780033280 |
申请日期 |
1978.03.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUKUNAGA SHINOBU;YASUOKA MASAHIKO;YAMANO TAKESHI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/316;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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