| 发明名称 |
METHOD OF AUTOMATICALLY CONTROLLING DENSITY OF POSITIVE PHOTORESIST DEVELOPER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS54124976(A) |
申请公布日期 |
1979.09.28 |
| 申请号 |
JP19780032649 |
申请日期 |
1978.03.22 |
| 申请人 |
CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI |
发明人 |
TSURUSHIMA TOSHIAKI;JINNO KIYOKATSU |
| 分类号 |
H01L21/30;G03C1/72;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
