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发明名称
Method and Apparatus for Measuring the Thicknesses of Film Layers Using Infrared Radiation
摘要
申请公布号
GB2016678(A)
申请公布日期
1979.09.26
申请号
GB19790007539
申请日期
1979.03.02
申请人
ASAHI-DOW LTD
发明人
分类号
G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06
主分类号
G01B11/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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