| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON RELIEFSTRUKTUREN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT352406(B) |
申请公布日期 |
1979.09.25 |
| 申请号 |
AT19750004506 |
申请日期 |
1975.06.12 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/004;C08F290/00;C08F299/00;C08G18/00;C08G18/67;G03F7/038;(IPC1-7):C08J5/18;C08J7/10 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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