发明名称 CHEMICALLY POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS54123527(A) 申请公布日期 1979.09.25
申请号 JP19780030976 申请日期 1978.03.20
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 GOTOU EIZOU
分类号 C04B41/53;C03C15/02;C23F3/00;C23F13/00;C25F3/16;C30B33/00 主分类号 C04B41/53
代理机构 代理人
主权项
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