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摘要
申请公布号
DE1924207(C3)
申请公布日期
1979.09.20
申请号
DE19691924207
申请日期
1969.05.12
申请人
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 6000 FRANKFURT
发明人
BENEKING, HEINZ, PROF. DR.RER.NAT., 5100 AACHEN
分类号
G05F3/18;H01L27/00;H01L27/07;(IPC1-7):H01L27/10
主分类号
G05F3/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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