发明名称 SEMICONDUCTOR HEAT PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS54121668(A) 申请公布日期 1979.09.20
申请号 JP19780029479 申请日期 1978.03.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKUNAGA SHINOBU
分类号 H01L21/324;H01L21/18;H01L21/22 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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