| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET VERWISSELEN VAN DOELEN VOOR HET VERSTUIVEN MET BEHULP VAN IONEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL161507(B) |
申请公布日期 |
1979.09.17 |
| 申请号 |
NL19730002495 |
申请日期 |
1973.02.22 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT FUER HOCHVAKUUMTECHNIK UND DUENNE SCHICHTEN, BALZERS, LIECHTENSTEIN. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/34;H01L21/687;(IPC1-7):C23C15/00 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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