发明名称 UN METODO DE BOMBARDEAR UN OBJETIVO O BLANCO CON UN HAZ DE IONES
摘要 <p>Un método de bombardear un objetivo o blanco con un haz de iones, que comprende las etapas de controlar la carga de superficie del objetivo, que comprenden las acciones de : proporcionar electrones a dicho haz, desde una fuente de electrones; y suprimir o inhibir el paso de radicaciones rectilíneas directas entre dicha fuente y dicho objetivo.</p>
申请公布号 ES469457(A1) 申请公布日期 1979.09.16
申请号 ES19570004694 申请日期 1978.05.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 H01J37/20;H01J37/02;H01J37/244;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):01L/ 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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