发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UN TRANSISTOR DE TYPE MOS ET TRANSISTOR REALISE SELON CE PROCEDE
摘要 <P>L'invention se rapporte au domaine des transistors à effet de champ à grille isolée, de type MOS à canal N. </P><P>Le procédé de fabrication de ces transistors, qui comprennent sur un substrat semi-conducteur une grille de commande 14 et des régions de source 12, de drain 13 et un canal 15, 16, comprend une étape caractéristique de création de ces trois régions par diffusion simultanée d'impuretés à partir de sources 20 de silicium polycristallin dopé des deux types d'impureté, ces sources étant ensuite conservées pour constituer les électrodes de contact des régions crées avec les prises extérieures 50. </P><P>Les applications sont celles des circuits intégrés monolithiques à haute densité d'intégration.</P>
申请公布号 FR2417853(A1) 申请公布日期 1979.09.14
申请号 FR19780004528 申请日期 1978.02.17
申请人 THOMSON CSF 发明人 JEAN GILLES
分类号 H01L21/225;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/48 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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