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发明名称
SPUTTER ION PUMP PROVIDED WITH INTERNAL CASING THAT CAN FREELY BE MOUNTED AND DEMOUNTED
摘要
申请公布号
JPS54117920(A)
申请公布日期
1979.09.13
申请号
JP19780024265
申请日期
1978.03.03
申请人
KOUENERUGII BUTSURIGAKU KENKIY
发明人
MIZUNO HAJIME
分类号
H01J41/12;H01J41/20
主分类号
H01J41/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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