发明名称 METHOD OF DRY ETCHING ALUMINUM
摘要
申请公布号 JPS54118172(A) 申请公布日期 1979.09.13
申请号 JP19780025822 申请日期 1978.03.06
申请人 NICHIDEN VARIAN KK 发明人 UKAI KATSUZOU;HANAZAWA KUNIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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