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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EPITAKTISCHEN INDIUMPHOSPHIDSCHICHT
摘要
申请公布号 DE2908851(A1) 申请公布日期 1979.09.13
申请号 DE19792908851 申请日期 1979.03.07
申请人 THOMSON-CSF 发明人 PASCAL DUCHEMIN,JEAN;BONNET,MICHEL;KOELSCH,FRANCOIS;BEUCHET,GERARD;LEGUEN,DANIEL
分类号 C01G15/00;C01B25/08;C23C16/30;C30B25/02;C30B25/14;C30B29/40;H01L21/205;(IPC1-7):B01J17/32 主分类号 C01G15/00
代理机构 代理人
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