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发明名称
ELECTRON BEAM EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号
JPS54116883(A)
申请公布日期
1979.09.11
申请号
JP19780024333
申请日期
1978.03.02
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
ITOU KAZUO;ITASAKA TAKASHI
分类号
H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
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