发明名称 DEVICE FOR TESTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS54115079(A) 申请公布日期 1979.09.07
申请号 JP19780023079 申请日期 1978.02.28
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 TOKUYAMA SABUROU
分类号 G01R31/28;G01R31/26;G01R31/319 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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