发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS54115084(A) 申请公布日期 1979.09.07
申请号 JP19780023085 申请日期 1978.02.28
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 OONO KENICHI;NAWATA KAZUMASA
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址