发明名称 DETECTION METHOD OF CRYSTAL JUNCTION SURFACE FOR MULTIPLE ELEMENT SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS54115077(A) 申请公布日期 1979.09.07
申请号 JP19780023041 申请日期 1978.02.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOSETO MASARU;SHINOHARA KOUJI;YOSHIKAWA MITSUO;ITOU MICHIHARU
分类号 H01L21/66;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/73;H01S5/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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