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发明名称 JUSTIERGERAET
摘要
申请公布号 DE2907648(A1) 申请公布日期 1979.09.06
申请号 DE19792907648 申请日期 1979.02.27
申请人 CANON K.K. 发明人 KATO,YUZO;OGINO,YASUO;HIRAGA,RYOZO;YOSHINARI,HIDEKI;YOKOHAMA,KANAGAWA;TOZUKA,MASAO;KANO,ICHIRO;SUZUKI,AKIYOSHI
分类号 H01L21/30;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/68;(IPC1-7):G05D3/00;H01L21/308 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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