发明名称
摘要
申请公布号 JPS5426875(B2) 申请公布日期 1979.09.06
申请号 JP19770010858 申请日期 1977.02.04
申请人 发明人
分类号 H01J37/305;H01J37/30;H01J37/302;H01L21/027 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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