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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5426875(B2)
申请公布日期
1979.09.06
申请号
JP19770010858
申请日期
1977.02.04
申请人
发明人
分类号
H01J37/305;H01J37/30;H01J37/302;H01L21/027
主分类号
H01J37/305
代理机构
代理人
主权项
地址
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